入射式扫描干涉

～φ40mm

～φ150mm

～φ300mm

40mm

60mm

300mm

830nm  AlGaAs半导体激光器

*大约78万点

*大约400万点

0.01μm

0.060μm

0.100μm

0.250μm

0.02μm

0.025μm

从样品设置到分析约60秒

程度和等级差异！ 全表面高速测量：
除了平坦度，还可以测量平行度和阶跃。 可以在大约60秒内获取并分析样品表面上多达780,000个点的数据。 抵抗外部影响，例如温度和振动，可以进行稳定且高度精确的测量。

精度小于0.1μm！ NIST可追溯：
Tropel的平面度测量机不仅保证了重复性，而且还保证了所有产品系列中校准原型的测量精度（校准精度）。 符合美国国家标准技术研究所/ NIST的校准标准也包括在内，因此您每天可以通过检查准确性来放心地进行测量。

适用于从粗糙表面到镜面：
特别的条纹扫描方法不仅支持镜面，而且还支持难以反射的切割面和切割面。 可用于从粗糙到镜面的广泛工作。

高精度高度测量的加工过程评估：
可以获取整个表面上多达780,000个点的高度数据作为绝对值，因此可以高精度地测量高度。 因此，可用于评估加工过程，例如通过比较加工前后的满量程数据来分析抛光量分布。