现代精密制造中，当需要确定整个表面的平整度，而单线扫描仪所能收集的信息或自坐标测量仪得到少量的参考点资料不够时，Tropel的Flat Master非接触性入射式全面积扫描干涉仪则能对整个表面的平整度进行快速而精确的测量，具有优异的可重复性和精确性。Flat Master平整度仪为精密部件的制造商提供了业界l先的表面形态测量。能够对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。

测量多种不同指标:
▶厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓。
完整的分析系统：
▶三维/ 拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度;
▶实现自动、 快速、准确、稳定且灵活的测量。

Flatmaster  40平面度仪：

美国康宁Corning Tropel Flatmaster  40平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等，为精密部件的制造商提供了业界L先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的  数据。Flatmaster 40平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行精密测量。 

美国Flat Master系列平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160   多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识,   美国康宁CORNING平面度测量仪品牌创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科  学领域产品的关键组成部分。

CORNING
为精密零件制造商提供行业前沿的表面 形状测量性能。我们的非接触光学技 术可以在几秒钟内分析整个表面,  Flatmaster提供一个纳米分辨 率和50纳米的标准精度。它可 以很快地并精确测量平面度、 线轮廓度、半径、以及其他 不同类型表面的表面参数。 在您的车间或在您的QC实验室,  FlatMaster将以前所未有的速度 以及吞吐是全方面测量从而大大提 高您的加工过程,提高产量以及生产力。		技术特点：  ▶无接触和无损伤测量  ▶适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料  ▶适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂  ▶适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，光滑面

部分技术参数： ***度：50nm （2.0μ″）  重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）  分辨率：5nm （0.2μ″）  可测量工件尺寸：5mm-40mm（更小工件也可提供）  动态测量范围：>50um  测量数据点：230,000 / measurement  测量时间：5秒  电源：～220V 50Hz

美国康宁FlatMaster 40平面度仪/FM40平面度测量仪应用实例：
▶Tropel? FlatMaster40能测量物件的尺寸40mm。客户化的定制能够满足不同用户对动态测量范围、精度和功能部件等内容的不同需求。
▶FlatMaster 40平面度测量设备采用激光干涉原理，一次性测试整个平面，同时获取230,000个点的数据，应对产品表面的划痕，沙眼，崩角，凹凸不平，毛刺等问题可以直观的显示在测量结果中。

工业应用实例：

半导体应用实例：