Talyrond 595H的所有轴都经过精密加工，加强了软件自动更正功能，让TR595H拥有了*可比拟的直线度和圆度精确度。调心和调平操作台配有高分辨率电机，进一步加强了精度和全自动设置目标功能。该系统配有的Talymin 5传感器测量能力能够达到纳米级别，同时自动横臂机制能够提供*以伦比的多功能化确保能够测量*难以达到的部分。TR595H配置的主动抗振控制托架确保了不受外界环境影响的测量环境，保证测量环境接近生产过程。

   ▪ 全自动轴臂横向和纵向机制
   ▪ 轴臂、立柱和主轴校准自动校准
   ▪ 自动传感器校准
   ▪ 高精度空气轴承主轴精度+/- 0.01 um
   ▪ 传感器分辨率0.3 nm
   ▪ 主动隔震和环境隔离系统

监控制造过程：