XUV系列设备的真空测量室能够通过 X 射线荧光分析 (RFA) 检测原子序数从Na（11）开始的轻元素。由于空气会吸收轻元素的荧光X射线，因此在大气环境中通常无法使用该方法。因此，该仪器非常适合对要求严苛的镀层厚度进行测量和材料分析。FISCHERSCOPE X.RAY XUV仪器配有一个可抽真空的大型测量箱。其所装备的大面积硅漂移探测器能够探测低至1 keV的荧光辐射能量，从而能够有效地测量元素Na、Mg以及元素Zn、Cu、Ni的L辐射。大孔径准直器的使用大幅提高了信号计数率，使仪器可以达到很小的重复精度和很低的测量下限。XUV非常适合测量很薄的镀层和痕量分析。

种类、来源和真实性，是评估宝石价值的本质特征;而宝石材质的分析结果则是影响判断的决定性因素。通常，宝石的主要成份是铝和硅的氧化物，还会伴随有镁和钠等元素。另外，Cr、Fe、Ga等微量元素也是很重要的。XUV可以分析所有必要元素的光谱图。在多个领域的应用中，非常薄的Al镀层、Si镀层、氧化铝镀层和氧化硅镀层正在变得原来越重要。在真空环境中镀层厚度的测量结果有显着的提高。使用XUV来测量这些镀层，重复精度仅几个纳米。