英国泰勒霍普森FormTalysurf PGI840:

精密加工机器，比如单点金刚石车床，使得对公差要求很小的非球面镜头的加工成为可能，波前相差也降低到微不足道的数值。为了获得这种高水平的精度，必须有相应水准的计量。FormTalysurf PGI840具有所需要的各种功能，该测量系统的测量结果可直接输入到机床中，进而形成“反馈循环”。系统的低噪音(RMS仅为2nm)为市场提供了**的光学表面的测量能力。Form Talysurf PGI 840型粗糙度轮廓仪是一台英国泰勒霍普森公司生产的专门用于各种光学零部件表面的形状误差测量和粗糙度分析，包括:平面、球面、非球面以及衍射光学表面轮廓测量。该系统具有与大多数光学加工设备接口能力，可以将测量数据应用于加工设备的优化处理。其主要功能如下:

        (1)形状误差测量，包括非球面形状误差测量、直线形状误差(直线度)和圆弧。
        (2)轮廓测量，包括半径和角度分析;
        (3)表面粗糙度测量。

Form Talysurf PGI 840型粗糙度轮廓仪有一200mm水平 行程的驱动箱，该驱动箱可沿立柱在450mm范围内垂直移动，以适应不同高度工件的测量。驱动箱内带有很高直线度精度的水平基准，以保证测量精度。驱动箱下带有PGI型传感器，该传感器具有大的量程和很高的分辨率。传感器上带有测针，测量时，测针在工件表面接触并水平方向移动，测针的上下摆动量通过传感器传入电箱和计算机，由计算机软件进行分析，并将结果通过打印机进行打印。仪器各轴的移动可通过操纵杆或计算机控制。

1.扫描箱
(1)测量行程:  0.1mm-200mm
(2)驱动:  可使用操纵杆或计算机驱动
(3)移动/测量速度:  0.1/0.25/0.5/1.0/10.0mm/秒
(4)数据采样间隔(X):  0.1-15mm测量长度时0.125μm
                              15- 30mm测量长度时0.25μm
                             30-200mm测量长度时1μm
(5)直线度: 0.11μm/200mm

2.机动立柱
(1)材料:环氧花岗岩
(2)扫描箱移动高度: 450mm
(3)驱动: 可使用操纵杆或计算机驱动
(4)垂直移动速度: 0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒
3.基座、支架和防震支撑.
(1)工作台材料: 环氧花岗岩
(2)工作台尺寸: 760 X 500 X 120mm
(3)充气防震支承，不要求有外接气源。工作台台而上有两个T型槽
4.传感器
(1)类型:  位相光栅干涉(PGI)
(2)测量量程(Z):  8mm (使用60mm长测杆)
(3)分辨率: 8mm量程时0.8nm
(4)量程与分辨率之比: 10,000,000:1
(5)测量力: 使用60mm长2μm锥形金刚石测头时为1mN