平面度测量系统

基于160多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, CORNING创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科学领域产品的关键组成部分。CORNING TROPEL源于1953年，是提供平面度测量技术的行业领导，并已开发出测量大尺寸液晶显示器( LCD )光罩的技术。能进行全表面平坦度测量，具有快速、可重复性以及精确性的特点，因而能满足新一代对平整度的要求。现代精密制造中，当需要确定整个表面的平整度，而单线扫描仪所能收集的信息或自坐标测量仪得到少量的参考点资料不够时，Tropel 的Flat Master非接触性入射式全面积扫描干涉仪则能对整个表面的平整度进行快速而精确的测量，具有优异的可重复性和精确性。

Flat Master平整度仪为精密部件的制造商提供了***的表面形态测量。能够对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。

测量多种不同指标:

完整的分析系统:

无接触和无损伤测量;

➢适用多种类型材料:半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料;
➢适用多种类型晶片: 硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂;
➢适用多种类型表面:研磨表面，抛光面，超光滑面。

工业应用实例：

半导体应用实例：