非接触式三维轮廓测量仪概述：

Talysurf CCI 6000 适用于高精度三维表面测量分析。一种在垂直方向全程内分辨率为0.1 Å，测量噪音低于0.5 Å的高水准的非接触式三维表面测量仪。精密三维表面轮廓光学系列测量仪采用相干相关技术进行非接触式表面测量。此类仪器能在仅10秒内完成测量数据点超过百万的表面测量，分辨率高达0.01 nm (0.1 Å)。

Talysurf CCI 6000 干涉仪是一种先进的高分辨率的光学轮廓测量仪。像素达100万的传感器作为系统的标准配置。该系统可提供测量重复性和很高的表面细节。该系统专为需要进行高分辨率测量的（如亚微米级与亚纳米级的z轴分辨率）各种不同类型的表面而设计的。它非常适合应用于许多不同的领域包括：半导体制造业和微机电系统，以及先进的科学研究与光学业。

      。垂直分辨率高达0.1 Å (0.01 nm) 
      。测量噪音（实际测量数据）低至0.5 Å (0.05 nm) 
      。标准数据测量点为百万, 系统数据测量点可多至四百万

业界**的软件使三维表面测量变得易于访问。自动分析程序只需按一下按钮即可进行详细的测量分析。可以自动识别，测量和分类由直径，面积或体积定义的表面特征。数据操作工具由于可以对软件中的测量数据进行软件调整和对齐，因此大大简化了组件的准备和准备工作。

      。高分辨率变焦
      。调平和旋转
      。倒置和镜像
      。消除形式和缺陷
      。轮廓提取

微观粗糙度，波纹度，进给速度和深度