直径，角度，距离，坐标系，很适合拟合直线，拟合圆，部分圆等定义点，圆，部分圆及更多。

多元测量，双轮廓

接触速度（Z 方向）

0.1 至 1 mm/s

 测杆长度

175 mm, 350 mm

 测量速度（文本）

0.2 mm/s 至 4 mm/s

 针尖半径

25 μm

 扫描长度末尾（X 方向）

200 mm

 分辨率

Z 方向，相对探针针头：0.38 μm（350 mm 测杆）/ 0.19 μm（175 mm 测杆）
在 Z 方向，相对于测量系统：0.04 μm

 扫描长度开始（X 方向）

0.2 mm

 取样角

在平滑表面上，取决于偏差：后缘高至 88°，前缘高至 77°

 定位速度（文本）

X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
Z 方向：0.2 至 10 mm/s

 导块偏差

< 1 μm（200 mm 以上）

 测量范围 mm

（Z 方向）50 mm

 扫描长度（文本）

0.2 mm 至 200 mm

 测量力 (N)

1 mN 至 120 mN，以下和以上（可在 MarSurf XC 20 中设置）测力

 z方向：350mm测臂=0.5μm；175mm测臂=0.25mm