瑞士Vogtlin Red-y系列多用途压力控制器,是一个自带了压力传感器,流量传感器和一个流量比例阀的精巧的闭环压力控制系统
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瑞士Vogtlin Red-y系列多用途压力控制器,是一个自带了压力传感器,流量传感器和一个流量比例阀的精巧的闭环压力控制系统,可以控制绝对压力和相对压力2种方式,可以从满量程10bar到0.5bar之间通过自动预设的压力值使进行精确测量和控制,从而使工艺腔体的压力保持恒定,并且这种专*的设计可以使用户在压力控制和流量控制模式之间任意切换。瑞士的VogtlinRed-y系列多用途质量流量控制器可以在各种应用行业中用于测量和控制气体的流量,提供了全量程从10sccm到450slm, *低可至0.2sccm提供了快速的、可重复流量控制的解决方案,可提供(Analog,ProfibusDP,RS485/Modbus)等多种通讯方式。
瑞士Vogtlin Red-y多用途压力控制器产品特点:
▶专*技术的CMOS传感器设计提供了卓越的零点稳定性
▶提供:满量程±0.5%的控制精度
▶一台仪器有3个功能:压力控制器,带流量测量的压力控制器和带压力测量的流量控制器
▶只有1秒的热机时间
▶阳极化的表面处理或不锈钢的表面处理、洁净室要求的处理,橡胶密封件使用保证了在清洁工艺中的使用要求。
▶可以显示流量设定值,实际测量值,气体类型以及累积气体消耗量等信息。
▶由于CMOS传感器的设计,可以提供很低的压降损失(如20SLM,只有10mbar的压降损失)
▶可提供Analog(0-5VDC,4-20mA),Profibus DP,RS485/Modbus等控制方式,符合欧洲CE,EMC标志
瑞士Vogtlin Red-y多用途压力控制器技术规格:
全量程范围: | 10sccm到450 SIm |
*大入口压力: | 16 Bar |
正常的操作差分压力(压降) : | 10到60slm(1/4" Tube) 3到180 mbar(g) |
50 slm到450 slm (1/2”Tube) 5到140 mbar(g) | |
控制量程: | 1%到100%的全量程 |
测量量程: | 1%到100%的全量程 |
测量精度: | 10sccm到450 Slm读数值的±0.5% +全量程的0.3% |
重复性: | 全量程的±0.2% |
分辨率: | 16 Bit |
热机时间: | 小于1秒 |
响应时间: | 小于150毫秒 |
电源要求: | ±15VDC ( ±5% )或+ 24VDC,250mA |
电气通讯(信号控制) | |
模拟 | 9-pin D Sub |
Profibus DP | 9-pin D Socket |
RS485/Modbus | 9- pin D Socket |
材质: | 铝合金或316不锈钢 |
泄露率: | 小于1*10~6 scc/sec He |
接头法兰: | 4 VCR, 4 VCQ,1/4卡套,8VCR, 8VCO ,1/2”卡套 |
电气认证: | 符合欧洲CE认证 |
重量: | 0.7Kg |
瑞士Vogtlin Red-y压力控制器产品特点应用方案:
1、上游压力控制模式
一个工艺需要一个特殊的气体要求,这个可能是工艺反应的要求或由于工艺的泄露,为了确保工艺压力保持稳定,工艺要求需要一个稳定的气体补充,在这个工艺模式里,工艺腔体上游的压力总是大于需要设定的压力的。
2、下游控制模式
如果压力的波动是工艺本身产生的,那就需要工艺腔体中气体的释放来确保工艺压力的恒定,在这个工艺中,压力传感器位于控制阀的前部,这就要求压力释放端的压力必须小于工艺中的*小的控制压力。
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