Verifire™ MST镭射干涉仪提供了一个崭新的测量方式和能力，传统的镭射干涉仪应用是测量两个面的波前变化，也就是说测量一个 由两个面所形成的腔。但是，如果所测量的是一个没有经过镀膜的平行平板，则就会产生两个叠加的干涉条纹（三个面的腔所形成），这样就会干扰标准的位相干涉测量分析。现在，ZYGO的Verifire™ MST镭射干涉仪解决了这一个问题，通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶转换方法，可以进行三个甚至四个平行面的测量，不仅可以显示所有的面，并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。

三平面干涉测量

镭射干涉仪可以在你的测量中，只要一次资料撷取，就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度，同时还能得到平行平板的光学厚度：
        • 前表面形貌图
        • 光学厚度变化
        • 物理厚度变化和后表面形变

四表面干涉测量

这一技术能够通过两次资料撷取得到下列结果：
        • 前表面和后表面的形貌图
        • 物理厚度变化
        • 光学厚度变化
        • 折射率变化
        - 非线性材料均匀性
        - 线性材料均匀性

多表面样品测量快速、简单和品质提升，同时测量表面形变和光学厚度变化，平行平板两侧测量就可以得到其均匀性：
        • 不需要涂油就可以进行安全、快速测量
        • 两次测量不需要进行调整
        • 新型的线性材料均匀性测量，快速测量，只需要几分钟而不是几个小时