布鲁克的NPFLEXTM 3D 表表面测量系统,实现更快的测量时间,提高了产品质量和生产力
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NPFLEX 三维表面测量系统:
▪ 针对大样品设计的非接触测试分析系统
▪ 灵活测量大尺寸、特殊角度的样品
▪ 高效的三维表面信息测量
▪ 垂直方向亚纳米分辨率提供更多的细节
▪ 快速获取测量数据,测试过程迅速高效
布鲁克NPFLEX 3D轮廓仪特性
1、其灵活性表现在可用于测量征更大的面型和难角度样品
一 创新性的空间设计使得可测零件(样品)更大、形状
一 开放式龙门、 客户定制的夹具和可选的摇摆测量头轻松测量想测部位
2、高效的三维表面信息测量
一 每次测量均可获得完整表面信息,并可用于多种分析目的
一 更容易获得更多的测量数据来帮助分析
3、垂直方向亚纳米分辨率提供更多的细节
一 干涉技术实现每一个测量象素点上的亚纳米级别垂直分辨率
一 工业界使用多年业已验证的干涉技术提供具有统计意义的数据,为日渐苛刻的加工工艺提供保障
4、测量数据的快速获取保证了测试准备时间
一 较少的样品准备时间和测量准备时间
一 比接触法测量(一条线)更大的视场(一个面)获得表面更多的数据
5、为客户量身订做zei合适的仪器配置
一 NPFLEX在基本配置的基础上,还有很多备选的配件和配置方案,满足不同客户的测量需求:
一 可选的摇摆测量头可轻松测量想测的样品部位,测量样品的侧壁、倾斜表面以及斜面边缘,重复性好。
一 获得研发大奖的透过透明介质测量模块(Through Transmissive Media,TTM)模块,,结合环境测试腔,可以穿透5cm厚的色散材料,可对样品进行加热或者冷却,进行原位测量。
一 可选的折叠镜头能够测量碗状样品的侧壁和底部孔洞。