SiGNUM是雷尼绍的高精度、非接触式20 µm栅距增量式光栅系统,由一个Sr读数头和Si接口组成。
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SiGNUM是雷尼绍的高精度、非接触式20 µm栅距增量式光栅系统,由一个Sr读数头和Si接口组成。它的防护等级为IP64,速度可达12.5 m/s,分辨率达5 nm,采用IN-TRAC自动调相光学参考零位,可以读取多种直线光栅和圆光栅。SiGNUM使用方便,只需按下按钮即可进行校准并带有免费诊断软件,而且其优异的性能可与价格昂贵、栅距更小的光栅系统媲美,在温度高达+85 °C的环境下,电子细分误差通常<±30 nm。
栅尺名称 |
精度 |
栅距 |
热膨胀 系数(20°C时) |
栅尺*大长度 |
读数头兼容性 |
RELM/RELE |
1 m内为±1 µm,以后±1 µm/m |
20 µm |
0.75 ±0.35 µm/m/°C |
1.5 m |
栅尺名称 |
精度 |
栅距 |
热膨胀 系数 |
栅尺*大长度 |
读数头兼容性 |
RSLM/RSLE/RSLC |
1 m内为±1.5 µm,2 m内为±2.25 µm,3 m内为±3 µm,5 m内为±4 µm |
20 µm |
~10.8 µm/m/°C |
5 m |
SiGNUM |
栅尺名称 |
刻划精度(取决于圆光栅直径) |
栅距 |
热膨胀 系数 |
圆光栅直径 |
读数头兼容性 |
RESM/REST/RESD
|
±3.97至±0.38角秒 |
20 µm |
17 µm/m/°C |
52至550 mm |
SiGNUM |
栅尺名称 |
安装精度(取决于圆光栅直径) |
栅距 |
热膨胀 系数 |
圆光栅直径 |
读数头兼容性 |
REXM/REXT |
(≥100 mm直径)±1角秒 |
20 µm |
17 µm/m/°C
|
52至417 mm |
SiGNUM |