TONiC是雷尼绍推出的小型非接触式增量式光栅系统,速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。
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什么是TONiC?
TONiC是雷尼绍推出的小型非接触式增量式光栅系统,速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差大,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差低,通常小于±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10-10 Torr的高真空应用中,这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。
栅尺名称 |
精度 |
栅距 |
热膨胀 系数 |
栅尺*大长度 |
读数头兼容性 |
RGSZ/RGSN |
±15 µm/m |
20 µm |
使用端压块固定到基体,保持与基体相同的热膨胀 |
如需超过50 m的长度,请联系雷尼绍 |
栅尺名称 |
精度 |
栅距 |
热膨胀 系数 |
栅尺*大长度 |
读数头兼容性 |
搭配可选FASTRACK™的RTLC20 |
±5 µm/m |
20 µm |
~10.6 µm/m/°C |
10 m |
TONiC、TONiC UHV |
栅尺名称 |
精度 |
栅距 |
热膨胀 系数 |
栅尺*大长度 |
读数头兼容性 |
RELM/RELE |
1 m内为±1 µm,以后±1 µm/m |
20 µm |
0.75 ±0.35 µm/m/°C |
1.5 m |
TONiC、TONiC UHV |
栅尺名称 |
精度 |
栅距 |
热膨胀 系数 |
栅尺*大长度 |
读数头兼容性 |
RSLM/RSLE/RSLC |
1 m内为±1.5 µm, 2 m内为±2.25 µm,3 m内为±3 µm, 5 m内为±4 µm |
20 µm |
~10.8 µm/m/°C |
5 m |
TONiC、TONiC UHV |
栅尺名称 |
刻划精度(取决于圆光栅直径) |
栅距 |
热膨胀 系数 |
圆光栅直径 |
读数头兼容性 |
RESM/REST/RESD |
±3.97至±0.38角秒 |
20 µm |
17 μm/m/°C
|
52至550 mm
|
TONiC、TONiC UHV |
栅尺名称 |
安装精度(取决于圆光栅直径) |
栅距 |
热膨胀 系数 |
圆光栅直径 |
读数头兼容性 |
REXM/REXT |
(≥100 mm直径)±1角秒 |
20 µm |
17 μm/m/°C |
52至417 mm |
TONiC、TONiC UHV |
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